「KD」シリーズは、コンパクトデザインのダイレクトダイヤフラムバルブとして、高い Cv 値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。■主な特徴◎ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.36cm（1/4"CVC オス Open 時）まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現しています。 3◎独自の接ガス部シール構造により高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求しました。◎厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現しました。◎最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。KDダイヤフラムバルブサイズ KD2(1/8"） KD4(1/4"） KD8(1/2") KD12(3/4"）Cv 値 0.04 0.27 0.7 1.7使用最高圧力 0.98MPa（G）接ガス部内容積 0.22cm3 1.36cm3 7.3cm3 34.6cm3ストレート弁､ CVCオス､ OPEN 状態使用流体温度範囲PCTFE -10℃～ 80℃PFA 手動弁 -10℃～ 150℃自動弁 -10℃～ 120℃（150℃実績 50 万回）PI -10℃～ 150℃メタル（ボディ材質） -10℃～ 200℃ 未対応環境温度範囲 -10℃～ 60℃検査リーク量 内部リーク PCTFE、PI、PFA 1 × 10-10Pa･m3/sec 以下メタル 3 × 10-10Pa･m3/sec 以下 未対応外部リーク 1 × 10-10Pa･m3/sec 以下操作圧力（自動弁） 0.4 ～ 0.7MPa（G）作動耐久性 ※手動弁 10 万回 3 万回自動弁 200 万回 400 万回 -※当社試験実績〔試験条件〕シート：PCTFE、流体：N2、封入圧：0.98MPa■主な仕様グレード STD EP SEPボディ材質 SUS316L SUS316LE（二重溶解材）内面粗度 Rz3.2μm以下 Rz0.7μm以下研磨 機械研磨仕上げ 電解研磨仕上げ洗浄脱脂洗浄＋精密洗浄梱包 1 重 2 重※ SEP-316LE については 1/8"・1/4"・3/8"・1/2" サイズのみ対応可能です。ボディ SUS316L、SUS316LE(二重溶解材）シート PCTFE、PFA、PI、メタル（ボディ材質）ダイヤフラム コバルト合金（3/4" サイズ゛は SUS316L)■製品グレード■製品材質■注意事項①当社バルブは、一般的な大気圧雰囲気で使用するバルブであり、真空容器内にバルブを設置しての使用はできません。②バルブを加熱して使用する場合、エアー継手やチューブは使用温度に耐えることができる適切な材質を選定ください。
