电子特气管路系统
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应用案例
上海复旦大学实验室
上海理工大学实验室气路
上海交通大学实验室气路
行业知识
什么是电子特气？
易燃易爆的气体、有毒的气体有腐蚀性的气体、纯度特别高(超过99.999%)的气体统称为电子特气。电子特气系统工程是用于保证电子特气的安全使用的系统。
电子特气系统组成
电子特气系统工程分气源部分(特气柜GC)、配管部分(一般用双套管)、二次配部分(气体分配柜VMB) 监督控制部
分(气体管理系统GMS)几部分。
电子特气系统特点
单台电子特气系统设备均配有PLC控制、彩色触摸屏操作，带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警，并可扩展地震监控报警;多台设备用PLC或TGO连起来，监控报警系统可以与安监系统、消防系统对接。完善、安全、专业是我们的特点。
适合场合:半导体行业、微电子企业、光伏太阳能、溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等。
佰熹流体技术（上海）有限公司长期致力于电子特气系统工程的服务，公司自有经验丰富的、专业的安装工程服务团队与专业的设计团队，成功开发设计有自主专利的特气柜GC、气体分配柜VMB、气体管理系统GMS，已成功安装于诸多高等院校科研室与半导体企业，且目前运行良好。
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